TP200  
 
  TP7M  
       



 

A. Strain Gauge Touch Trigger Probe: TP7M
TP7M은 Kinematic Probe보다 보다 정밀하고 우수한 값을 얻고자
할 때 많이 사용되는 Probe 입니다.

옆 그림과 같이 기본적인 Kinematic 구조에 X, Y, Z 그리고
열 전대를 Counting하는 Control Gauge 등 총 4 개의
Silicon Strain Gauge가 Web 면에 부착되어 있습니다 .
또한 Kinematic 구조상의 Low Force
FC 에 Probe가 Seating 되어
있습니다 .

(그림 하단 부분 - 이 부위에서는 Probe Signal로 인식하지
않습니다.)
 

 

스타일러스가 유동하기 시작하면, Kinematic 구조상의 Probe가 Pivot 에서부터 떨어지기 전에(Unseated) 일정한
Probe 압력에 도달하게 되며, 상단 부에 장착된 Strain Gauge가 Probe Signal로 인식하기 시작합니다.
즉, Pre-Travel 량이 현저하게 작아진다는 의미입니다. ( 아래 그림 참조 )

 
   
 

반대로, Pre-Travel 량이 작아지게 되면 Kinematic 구조에서 발생되던 Lobing Error가 현저 하게 감쇄되게 된다는
것을 의미합니다. 따라서, 보다 정밀한 측정이 가능하게 됩니다 .
여기서 Kinematic 구조는 단순히 스타일러스 고정의 역할 만 하는 것이고 실제로 Sensing은 위 상단 부
Silicon Strain Gauge로부터 발생하게 되는 것입니다.
Strain Gauge Probe는 일반 Kinematic Probe에 비해 현저하게 낮은 Lobing Error로 월등한 Accuracy를 보증하며
스타일러스의 길이를 보다 폭 넓게 사용할 수 있다는 점에서 다양한 어플리케이션을 제공하고 있습니다.
실례로, TP7M의 경우 최장 180mm(Graphite 재질) 까지의 스타일러스를 사용할 수 있습니다 .

 


 

위 그림은 일반 Kinematic Probe에서 발행하는 PTV 와 (왼쪽) Strain Gauge를 사용하는 Probe의 PTV(오른쪽)를
비교한 것입니다. 그림에서 알 수 있듯이, 일반 Kinematic Probe는 접촉하는 방향에 따른 방향성 및 Pre-Travel
편차를 가지나, Strain Gauge Probe는 방향성이 없으며, Pre-Travel 편차 또한 매우 작습니다.
 


 

B. Piezo Shock Sensing Touch Trigger Probe: TP200

Piezo Sensor는 압력을 받을 때 그에 따른 충격 량을 Voltage 를 변환하는 일종의 센서입니다. TP200 은 이러한
센서 기술을 이용, 다른 어떤 종류의 Probe 보다 빠르게 응답하는 초정밀 Probe라 할 수 있습니다.

Piezo는 스타일러스가 측정 물과 접촉했을 때 이러한 기구적 충격 량을 감지하게 됩니다.

아주 적은 충격 량, 과장한다면 스타일러스가 물체의 표면에 닿는 소리에 반응하는 것입니다.

 

Piezo Sensor Probe는 응답 속도가 대략 1.25 m sec/mm 로서 아주 빠르게 됩니다. 즉, 어느 위치에서 측정 물과
접촉 하더라도 충격 량은 일정하므로 경로에 관계없이 빠르게 전달되게 되는 것입니다.

따라서, Pre-Travel 값은 사용하는 스타일러스 길이와 Probing 속도와만 관계 되며 어느 방향에서나 측정하더라도
동일한 값을 가지게 됩니다.

이 Probe는 민감하기 때문에 진동이 많은 환경에서는 사용할 수 없으며, 수명 또한 Piezo 센서의 수명과 같습니다.
그러나 정밀 측정이 필요한 곳에서 사용하기 가장 적합합니다.